장비 상세
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레이저기반 마이크로소자 제조장치
- 장비명
- 레이저기반 마이크로소자 제조장치
- 모델명
- 레이저기반 마이크로소자 제조장치
- 제조사
- ㈜유로비젼레이저(Korea)
- 제조국가
- 장비위치
- 3D융합기술지원센터(본관)
- 첨부파일
- -
- 장비설명
- - 생명 과학, 의료, 광학, 센서 등에 사용되는 마이크로 디바이스 통합 제조 장비
- 투명한 소재의 내부 및 외부 초정밀 레이저 가공으로 micro fluidic, 3D micro mold 및 광학 소자와 같은 미세 가공 지원 가능
- 규격
- Laser
-Wavelength : 1,030 nm
-Beam quality : TEM00 with M2<1.3
-Repetition rate : ≥100 kHz ~ 1 MHz
-Pulse duration : ≤400 ~ 900 fs
Stage
-Stroke(XYZ) : 120 × 80 × 35 mm
-Resolution(XYZ) : ≤1 ㎛
-Max. Speed(XY) : 200 mm/s, Speed(Z) : 10 mm/s
- 활용용도
- 극초단 레이저를 이용한 glass polishing, micro fluidic 등 초소형 제품 개발
- glass 3차원 설계 및 가공
- 3D micro fluidic Cell
- 생체 의학 및 화학 응용 분야를 위한 3D micro chanel
- fused silica의 3D micro mechanic 및 3D hole 가공
- 높은 정밀도의 절삭에 의한 미세 구조화
- 레이저 가공 후 에칭 공정 완료로 일괄 공정 지원
장비 이용 시간 선택
01. 날짜선택
- 예약있음
- 일
- 월
- 화
- 수
- 목
- 금
- 토
02. 시간선택
03. 선택확인
선택된 장비 : 레이저기반 마이크로소자 제조장치
- 시작일 :
- 미정
- 종료일 :
- 미정