장비 상세
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비접촉식 표면분석기
- 장비명
- 비접촉식 표면분석기
- 모델명
- 비접촉식 표면분석기
- 제조사
- Kosaka(Korea)
- 제조국가
- 장비위치
- 3D융합기술지원센터(본관)
- 첨부파일
- -
- 장비설명
- 접촉식과 비접촉식 두가지 방식을 사용하여 기존의 다양한 방식의 측정기들이 가지는 단점들을 보완하고, 장점들을 취합하여 하나의 시스템으로 사용
서브마이크로 스케일을 요구하는 디스플레이 및 반도체, 의료기기 산업에서부터 정밀 측정이 필요한 자동차, 항공, 금형 산업 등 다양한 제품들의 데이터 획득 및 비교분석
- 규격
- 1. Non-contact
- Source : White Light
- Vertical resolution : ≤ 0.1 nm
- Repeatability : ≤ 10 nm
2. Contact
- Vertical resolution : ≤ 0.1 nm
- Repeatability : ≤ 2 nm
- Scan tip : ≤ standard 2 ㎛
- 활용용도
- - 가공물의 미세 표면 형상 측정
- 렌즈 및 투명소재의 표면 형상 및 거칠기 측정
- 다양한 소재들의 단차 및 표면 거칠기 측정
- 평탄도 측정
- 투명체, 박막 두께 측정 등에 사용
