장비 상세
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펄스레이저 증착 시스템
- 장비명
- 펄스레이저 증착 시스템
- 모델명
- 펄스레이저 증착 시스템
- 제조사
- (Korea)
- 제조국가
- 장비위치
- 3D융합기술지원센터(본관)
- 첨부파일
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- 장비설명
- 레이저를 조사시켜 목표 샘플에 원하는 두께의 박막을 증착
- 규격
- - Optical Window : Fused Silica(UV grade)
- Optical Module UV 240nm ~ 350nm, Vis 400nm ~ 700nm
- Target Holder : 3ea (2 inch target), Rotation (0~30 RPM) adjustable
- Material Target(보유) : Al, Al2O3, Mg, Si, SiO2, Ta, Ti, Sn, ZnO
- 활용용도
- - 재료, 전자, 물리, 화학 분야의 세라믹, 금속, 반도체 등의 단일체, 복합체의 박막화 연구 및 개발
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선택된 장비 : 펄스레이저 증착 시스템
- 시작일 :
- 미정
- 종료일 :
- 미정